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宿舍 自慰 新松公司攻克新一代真空机械手:可传输晶圆,重叠定位精度0.02mm

发布日期:2024-08-26 21:51    点击次数:97

  

宿舍 自慰 新松公司攻克新一代真空机械手:可传输晶圆,重叠定位精度0.02mm

机械手吸收双沉寂经营,两只手臂不受彼此影响沉寂进行取放片职责。

IT之家 8 月 25 日讯息,8 月 21 日~25 日宿舍 自慰,2024 寰宇机器东谈主大会在北京举行,169 家企业展出 600 余件翻新家具。

据先容,真空机械手是芯片制造经由中,矜重不同工位之间晶圆传输的关节修复,在顶端工艺制程中重叠定位精度条款达到了 0.02mm,荒谬于一根头发丝直径的 1/5,该修复永久被海外企业驾驭,是名副其实的“卡脖子”时刻。

新松公司自主攻克新一代真空机械手时刻,并结束在中国来源进芯片制造工场的批量专揽。

新松 Centaur 真空机械手领有特出的重叠定位精度、碰撞保护以及 AWC 智能动态纠偏等功能宿舍 自慰,机械手吸收双沉寂经营,两只手臂不受彼此影响沉寂进行取放片职责,比拟传统机械手的传输效果大幅栽培,可胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。

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IT之家详确到,新松公司还展出了双臂具身智能握取站、工业机器东谈主 3D 视觉免示教系统、特种机器东谈主等关系机器东谈主家具 / 系统。

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